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電鏡能譜一體機

簡要描述:Phenom ProX 是第五代電鏡能譜一體機,是*的集成化成像分析系統,分辨率提升 20%,進一步增加應用范圍,更加適用于對電子束敏感的樣品。借助該系統,既可觀察樣品的表面形貌,又可分析其元素組分。

  • 產品型號:Phenom ProX
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2017-12-20
  • 訪  問  量: 4036

詳細介紹

Phenom ProX是第五代電鏡能譜一體機,是*的集成化成像分析系統,分辨率提升 20%,進一步增加應用范圍,更加適用于對電子束敏感的樣品。借助該系統,既可觀察樣品的表面形貌,又可分析其元素組分。研究樣品時,得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設計的能譜探測器,飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。能譜儀是一種基于樣品被電子束激發而產生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設計在飛納 Phenom ProX 系統中。Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現多點分析,檢測樣品的元素組分。此外,該軟件還可以擴展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導出分析數據。

 Phenom ProPhenom ProXPhenom XL
光學放大20 - 135 X20 - 135 X3 - 16 X
電子光學放大80 - 150,000 X80 - 150,000 X80 - 100,000 X
分辨率優于 8 nm優于 8 nm優于 14 nm
數字放大Max. 12 XMax. 12 XMax. 12 X
光學導航相機彩色彩色彩色
加速電壓5 Kv - 15 Kv  連續可調5 Kv - 15 Kv  連續可調5 Kv - 20 Kv  連續可調
真空模式高分辨率模式高分辨率模式高分辨率模式
降低荷電效應模式降低荷電效應模式降低荷電效應模式
  高真空模式
探測器背散射電子探測器背散射電子探測器背散射電子探測器
二次電子探測器 (選配)二次電子探測器 (選配)二次電子探測器 (選配)
樣品尺寸 大直徑 32 mm (Ø) 大直徑 32 mm (Ø) 大 100 mm X 100 mm
可同時裝載 36 個 0.5 英寸樣品臺
樣品高度 高 100 mm 高 100 mm 高 65 mm

 

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